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名 称:硅化锆
分子式:ZrSi2
分子量:147.39
CAS号:12039-90-6
灰黑色立方晶体 关键字:<硅化锆>
关键字:<硅化锆>
主要可用作精细陶瓷原料粉,用于生产半导体薄膜生产用坩埚
检 验 报 告
品名
硅化锆
CAS:12039-90-6
性状
灰黑色立方晶体
检测项目
检测值
ZrSi2
99.5%
Si
37.91%
C
0.03%
O
0.25%
Fe
0.14%
N
0.08%
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