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名 称:四氟化钛
分子式:TiF4
分子量:123.87
CAS号:7783-63-3
白色吸湿性粉末
关键字:<四氟化钛>、<氟化物_>、<电子化学品>
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线等
检验报告
品名
四氟化钛
CAS:7783-63-3
性状
化学式
TiF4
纯度:
测试项目
测试结果
含量
≥98.5%
≤0.15%
氟硅酸盐
0.2%
铁
0.1%
硫酸盐
重金属
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