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名 称:四氟化钛

分子式:TiF4

分子量:123.87

CAS号:7783-63-3

性 状:

白色吸湿性粉末


关键字:<四氟化钛><氟化物_><电子化学品>


用 途:

用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线等


检验报告:

检验报告

品名

四氟化钛

CAS:7783-63-3

性状

白色吸湿性粉末

化学式

TiF4

纯度:

测试项目

测试结果

含量

≥98.5%

氯化物

≤0.15%

氟硅酸盐

0.2%

0.1%

硫酸盐

0.1%

重金属

0.1%


友情链接:   中国化工新闻网   上海铁高国际贸易有限公司   Nitinmat Inc
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